1.关于薄膜测量
当光透过薄膜并反射时，会发生表面反射与背面反射相互干涉的现象。这与当您看到薄薄的油膜或肥皂泡呈现彩虹色时发生的现象相同。
红外线也是如此；在近红外线（0.7～3μm）中，在15μm以下的极薄区域，近红外线被薄膜或涂层的表面反射和背面（边界）反射。由于光路长度的差异而产生的反射，由于光之间的相位差而可以看到光相互干涉的现象。
*但是，干涉现象并不一定会发生；如果表面条件是散射表面（具有细小的凹凸），则反射光会被散射，因此不会发生干涉现象。
该光学干涉的模型图如下所示。
2.P偏振法
为了避免上一节中描述的测量薄膜时发生的光学干涉，有如下所示的 P 偏振方法。该方法在测量光路中插入偏光滤波（
*1），仅提取并照射光的偏光成分 P 波（纵向波）（
*2）和 S 波（横向波），从而消除表面反射这是一种可以消除光学干涉的方法。
*1：如前所述，光是电磁波的一种，电磁波由于电荷（电流）的流动（变化）而产生电场（磁场）。因此，可以说光沿着该电荷（电流）流动的方向振动。在正常光下，各个方向的振动重叠，导致整体处于非偏振状态。偏振滤波仅从该非偏振光中提取一个方向的光。偏光滤波由沿同一方向等间隔排列的微小狭缝构成，当光通过这些狭缝时，仅透过该方向的振动成分，从而提取偏光成分。
*2：P波是指平行偏振，指与照射面平行的光（下图中的纵波）。
光干扰消除方法利用P偏振光的入射角和反射率特性来消除干扰。(见下图)
如果你看这个图，你可以看到P波在某个角度的反射率为0%。该角度称为偏振角（布儒斯特角），用下式表示。
偏振角θ=tan−1(n/n0)
(n0=空气的折射率，n=测量对象的折射率)
对于聚合物来说，这个偏振角一般为57至58度，如果以这个角度投射光，就不会出现表面反射，从而可以在没有光干扰的情况下进行测量。
我们的超薄测厚仪（IRMT系列）采用这种P偏振方法，不受光学干涉的影响，高精度地测量薄膜成分（厚度等）。
